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半导体行业净化解决方案

晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。

传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU 使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。

 

污染物

来源

引发问题

解决方案

粉尘

空气

造成集成电路断路、短路,影响成品率

化学过滤模块+普通、高效过滤器/FFU

NH3,NMP

外气

“T-top“现象

化学过滤模块

 

 

部分成交客户

 

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